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        真空泵--羅茨真空泵

        日期:2021-11-25 10:03
        瀏覽次數:1570
        摘要:

        真空泵--羅茨真空泵

        羅茨泵的結構
        如圖所示。


        在泵腔內,有二個呈“8”字形的轉子互相垂直地安裝在一對平行軸上,由傳動比為1的一對齒輪帶動同時作出彼此反向的同步旋轉運動。羅茨泵的結構在轉子之間,轉子與泵殼內壁之間,保持有一定的間隙,以便實現高轉速運行。

        羅茨泵的工作原理
        羅茨泵的工作原理與羅茨鼓風機相似。由于轉子的不斷旋轉,被抽氣體從進氣口吸入到轉子與泵殼之間的空間v0內,再經排氣口排出。由于吸氣后v0空間是全封閉狀態,所以,在泵腔內氣體沒有壓縮和膨脹。 但當轉子頂部轉過排氣口邊緣,v0空間與排氣側相通時,由于排氣側氣體壓強較高,則有一部分氣體返沖到空間v0中去,使氣體壓強突然增高。當轉子繼續轉動時,氣體排出泵外。

        工作過程
        如圖為羅茨泵轉子由0°轉到180°的抽氣過程。在0°位置時(圖中a),下轉子從泵入口封入v0體積的氣體。當轉到45°位置時(圖中b),該腔與排氣口相通。由于排氣側壓強較高,引起一部分氣體返沖過來。當轉到90°位置時(圖中c),下轉子封入的氣體,連同返沖的氣體一起排向泵外。這時,上轉子也從泵入口封入v0體積的氣體。當轉子繼續轉到135°時(圖中d),上轉子封入的氣體與排氣口相通,重復上述過程。180°(圖e)位置和0°位置是一樣的。轉子主軸旋轉一周共排出四個v0體積的氣體。








        由于羅茨泵是一種無內壓縮的真空泵,通常壓縮比很低,故高、中真空泵需要前級泵。羅茨泵的極限真空除取決于泵本身結構和制造精度外,還取決于前級泵的極限真空。為了提高泵的極限真空度,可將羅茨泵串聯使用。

        前級真空泵一般可選擇油封機械泵或液環真空泵,特別在抽除有大量水蒸汽的氣體時,選用水環真空泵作為前級泵是很理想的。
         



         

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